主要研究設施

 本中心的核心設備主要能協助同仁進行生醫影像觀測、材料表面分析、元件結構製作及精密樣品製程等研究;
除了核心設施,中心在六樓、四樓及地下二樓都有公用實驗室,配合同仁進行相關製程、影像、細胞及蛋白質研究。

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FIB

相關研究成果

Nano-Fabrication for semiconductors and metals
(施閔雄老師實驗室出品)
Versatile Planar and 3D Nanostructures Fabrication with Ultra-narrow Linewidth for Semiconductor and Metal Materials.
(蔡定平老師實驗室出品)
Stress‐Induced 3D Chiral Fractal Metasurface for Enhanced and Stabilized Broadband Near‐Field Optical Chirality
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其它研究設施

傅立葉轉換紅外線光譜
Micro-FTIR

顯微拉曼光譜儀

奈米壓印機器人

ALD

生物液相原子力顯微鏡

場發射電子顯微鏡
/電子微影系統

X光光電子光譜儀
XPS




儀器預約使用規則

使用者需於中央研究院之預算管理系統設有帳號,使用費於每年四、七、十月,透過轉賬機制收取。
如有未付清之使用費,將暫時停止該團隊之使用權直到付清,且管理者得要求使用者預繳與前期相同金額之使用費,方恢復其使用權。
儀器僅供合格使用者,於開放時段內自行操作,且無技術員可提供委託服務。合格使用者可自行訓練新進人員,並經管理人員考核通過後,成為合格使用者。
如需要管理人員進行操作訓練,相關時段之使用費以二倍計收。
如有違規或不當操作造成儀器損壞,使用者除需照價賠償以便修復外,並需支付停機維修期間所有開放時段之使用費。
中研院院內使用者得有七折優惠,中研院奈米計劃使用者得有五折優惠,應科中心使用者得有三折優惠。
不得使用毒性化學物質(不論是否列管),或具有揮發性、放射性、爆炸性、生物活性等物質,管理人員得依個別儀器特性,拒絕其他(包含,但不受限於)如磁性、粉體等樣品之使用。
若未經許可使用上述物質,該使用者所屬團隊將永久禁止使用。